微纳感知

HFC1000 热式气体流量芯片

特点

小尺寸、高可靠、高稳定

应用

仪器仪表、新风系统、汽车电子

HFC1000流量传感芯片基于热传导原理，利用MEMS工艺制备，用于检测气体质量流量。采用封闭膜式结构，可靠性高。当待测气体通过芯片检测区域时，芯片的敏感电阻会发生相应变化，根据敏感电阻的变化计算被测气体流量。传感芯片同时集成温度传感器(PTC)，利于用户集成与应用。HFC1000采用封闭膜结构，可靠性强；核心区悬空，减少无效热损失，灵敏度高。